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硅灰是用电弧炉生产硅铁合金或工业硅的副产品或共生产品。硅石与碳在1750oC高温下发生还原反应产生不稳定的一氧化硅(SiO)，局部炉温高于2160oC时会使SiO气化而随烟气一起排出，温度低于1100oC时SiO迅速与氧反应转化为SiO2，冷凝后形成微细球形颗粒，经收尘器收集过滤得到硅灰。硅灰中主要为玻璃态SiO2，含少量杂质；颗粒平均粒径为0.15微米；不燃不爆，无毒无味，属非危险品。
在以波特兰水泥（硅酸盐水泥）为胶凝材料的混凝土、砂浆、灌浆料等应用领域，“硅灰”是专用的标准名称，与英文名称“silica fume”对应。硅灰也常常被称作“硅粉”、“微硅粉”等，这些名称在其它工业领域有不同含义，较容易混淆，特别是容易与石英粉、硅灰石粉混淆。
